一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測裝置和方法,所述方法包括:收集從拋光墊上流出的廢液;檢測所述廢液中含有的需要拋光物質(zhì)的含量;當(dāng)廢液中含有的需要拋光物質(zhì)的含量滿足預(yù)設(shè)條件時(shí),輸出終點(diǎn)檢測信號(hào)。本技術(shù)方案可以有效防止化學(xué)機(jī)械拋光中的過拋問題。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)