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用于在高溫環(huán)境中檢測或監(jiān)測化學前體的設備

806   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:36:29
公開了一種用于監(jiān)測和/或檢測反應室中化學前體濃度的設備和方法。所述設備和方法具有在高溫環(huán)境中操作的優(yōu)點。光學發(fā)射光譜儀(OES)聯(lián)接于氣體源，例如固體源容器，以便監(jiān)測或檢測到達所述反應室的所述化學前體的輸出。替代地，可以周期性地監(jiān)測流動進入所述OES以及進入真空泵，由此繞過所述反應室的少量前體樣品。
聲明：
“用于在高溫環(huán)境中檢測或監(jiān)測化學前體的設備” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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