一個(gè)偵測(cè)研磨步驟終點(diǎn)的系統(tǒng)與方法。一般而言,一個(gè)電源供應(yīng)器乃提供給一個(gè)電解研磨系統(tǒng),此電源供應(yīng)器經(jīng)由一電解溶液傳輸一電流。監(jiān)控由電源供應(yīng)器所提供信號(hào)的信號(hào)特征,以決定一個(gè)研磨終點(diǎn)。需說明的是,此監(jiān)控的信號(hào)特征包含電流與電壓。在其它實(shí)施例中,電流與移除物質(zhì)有相關(guān)性,此時(shí)在過程中乃監(jiān)控電流以決定移除物質(zhì)總量。
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“電化學(xué)機(jī)械研磨控制工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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