本實用新型公開了一種金屬有機化學氣相沉淀設(shè)備,包括反應箱及噴淋頭,反應箱上端設(shè)置有噴淋頭;反應箱內(nèi)設(shè)置有反應腔,反應腔底端設(shè)置有反應平臺,反應平臺上端設(shè)置有反光層;噴淋頭包括上蓋及孔板,孔板上均布有多個向反應腔內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的小孔,上蓋頂部設(shè)置有多個與小孔對應的窗口,上蓋上設(shè)置有多個激光發(fā)生與接收裝置,激光發(fā)生與接收裝置上設(shè)置有蜂鳴器,蜂鳴器與激光發(fā)生與接收裝置電連接;反應箱底部設(shè)置有電機,電機上端與轉(zhuǎn)軸連接,轉(zhuǎn)軸上端設(shè)置有單臂旋轉(zhuǎn)桿,單臂旋轉(zhuǎn)桿上端設(shè)置有毛刷。本新型結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,能實時檢測噴淋頭中小孔的通堵狀況,及時快捷方便地清理噴淋頭,節(jié)省人力成本,提高工作效率。
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