本發(fā)明涉及一種氣相沉積設(shè)備。本發(fā)明一種制備
石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學(xué)氣相沉積裝置,所述裝置包括兩個(gè)獨(dú)立的真空腔體——主腔體(1)和副腔體(2)、加熱裝置(3)、測(cè)溫裝置、供氣裝置、抽氣裝置、冷凝裝置、傳動(dòng)裝置(4)、插板閥(5)及硼氮蒸發(fā)源(6)。其中主腔體(1)用于薄膜材料的制備,副腔體(2)用于硼氮源的洗氣。本發(fā)明采用不銹鋼腔壁,使用分子泵+機(jī)械泵的抽氣裝置,本底真空可達(dá)到10-8mbar,充分減少雜質(zhì)氣體分子對(duì)生長(zhǎng)過程造成的影響。采用內(nèi)加熱方式,不僅能降低能耗,而且能形成溫度更均勻的恒溫區(qū),而溫度測(cè)量采用直接測(cè)量樣品或者充分靠近樣品,從而得到更準(zhǔn)確的溫度參數(shù)。設(shè)計(jì)內(nèi)加熱裝置的移動(dòng)降溫功能,實(shí)現(xiàn)快速降溫,有效減少降溫過程中碳原子的析出。
聲明:
“制備石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學(xué)氣相沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)