一種晶圓缺陷檢測方法,包括以下步驟:在待檢測晶圓的拋光面上覆蓋弱透光性材料層,所述拋光面由化學(xué)機(jī)械拋光形成;對覆蓋弱透光性材料層后的拋光面進(jìn)行掃描,得到化學(xué)拋光液殘留物信息。上述晶圓缺陷檢測方法,通過在經(jīng)過化學(xué)機(jī)械拋光形成的拋光面上覆蓋弱透光性材料層,使得在對拋光面的檢測中,能夠很容易的檢測并識別出覆蓋化學(xué)拋光液殘留物區(qū)域的弱透光性材料層所反射出來的光信號,從而準(zhǔn)確檢測出化學(xué)拋光液殘留物這種缺陷的存在。同時,相對于傳統(tǒng)的增大檢測設(shè)備的敏感度的方法,上述方法可以避免增大檢測設(shè)備的敏感度所引起的檢測信號中噪聲的增加,使得檢測結(jié)果更為可靠。
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