本發(fā)明涉及用于檢測(cè)氣體的傳感器及制作方法。它包括:襯底、在襯底的一面上有一層金剛石膜/納米金剛石膜;在其上的兩邊各設(shè)置一條形金屬電極,測(cè)量引線連接在其上;在襯底的另一面制作一金屬加熱電阻,加熱電阻的測(cè)量引線連接在加熱電阻兩端的。該制作方法包括首先制作加熱電阻;在金屬加熱電阻的兩端用壓焊測(cè)量引線;在襯底材料的另一面的金剛石膜是采用熱燈絲化學(xué)氣相沉積方法制備的,含有微米/亞微米晶粒的金剛石膜是在傳統(tǒng)的研磨或偏壓成核的襯底上,利用甲烷和氫氣在高溫下反應(yīng)而合成的;再將測(cè)量引線分別連接在每一條形金屬電極上。該傳感器具有高選擇性,高靈敏度,快速的響應(yīng)與恢復(fù)的良好的一致性,及耐高溫和抗輻射;同時(shí)具有工藝簡(jiǎn)單。
聲明:
“用于檢測(cè)氣體的傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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