本發(fā)明公開一種諧振腔增強(qiáng)的單片集成傳感器及測(cè)量方法,傳感器包括諧振腔、二維材料層、電極、絕緣包層、耦合器、單色激光器、光電探測(cè)器、波導(dǎo)、絕緣層和襯底層;所述的絕緣包層和二維材料層從下到上依次位于諧振腔上方,所述的絕緣層和襯底層從上到下依次位于諧振腔下方,所述的波導(dǎo)與諧振腔位于同一層,且位于諧振腔的一側(cè);所述的電極設(shè)有兩個(gè),其中一個(gè)位于波導(dǎo)上,另一個(gè)位于二維材料層上,所述的耦合器置于波導(dǎo)的兩端,所述的單色激光器和光電探測(cè)器分別連接耦合器。該傳感器能夠用于片上檢測(cè)生物化學(xué)分子引起的波導(dǎo)環(huán)境折射率變化或是用于片上檢測(cè)生物化學(xué)分子的吸收光譜。
聲明:
“諧振腔增強(qiáng)的單片集成傳感器及測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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