本發(fā)明涉及化學(xué)領(lǐng)域,一種真空反應(yīng)及測試裝置,包括反應(yīng)腔、觀察窗、液體容器、直線驅(qū)動器、冷卻桿、樣品、樣品座、樣品臺、金屬桿、氣體進(jìn)口、
真空泵I、波紋管I、門閥、波紋管II、測試腔、樣品架、傳送桿、真空泵II和測試電路,是一種用于薄膜樣品在真空中進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)的真空反應(yīng)及測試裝置,采用在真空環(huán)境中使得預(yù)先冷凍的試劑融化的方法來將液態(tài)的試劑直接滴在固態(tài)樣品表面,在需要液態(tài)試劑的反應(yīng)中無需將固態(tài)樣品轉(zhuǎn)移到真空環(huán)境外或是對真空腔內(nèi)通入保護(hù)氣體,不會導(dǎo)致樣品周圍的真空度突然變差,操作過程簡單且避免引入雜質(zhì),本發(fā)明裝置具有簡單的樣品座轉(zhuǎn)移及固定方法,能夠在樣品進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)后立即用于電學(xué)測量。
聲明:
“真空反應(yīng)及測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)