本發(fā)明涉及一種采用多層驅(qū)動膜結(jié)構(gòu)的微驅(qū)動器及其制作方法。它包括具有驅(qū)動腔及進、出水管道結(jié)構(gòu)的上體、兩個擴張管/收縮管結(jié)構(gòu)的下體及具有Si/SiO
2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au的多層驅(qū)動膜。在Si材料正面采用濺射Ti/Pt薄膜和光刻的方法制備下電極、溶膠-凝膠工藝制備PZT壓電薄膜,利用蒸發(fā)Cr/Au薄膜和光刻的方法制備上電極,形成以Si薄膜為基底的多層驅(qū)動膜結(jié)構(gòu)。微驅(qū)動器的上、下體分別采用Si刻蝕工藝制備,并利用Au-Si鍵合技術(shù)焊接,具有結(jié)構(gòu)簡單、輸出流量大、驅(qū)動頻率高、功耗低、壽命長的特點,適合于批量集成制作??蓮V泛應(yīng)用于藥物微量傳送、燃料微量噴射、細胞分離、集成電路冷卻及微量化學分析等領(lǐng)域。
聲明:
“采用多層驅(qū)動膜結(jié)構(gòu)的微驅(qū)動器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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