微小區(qū)域殘余應(yīng)力的無損檢測(cè)方法，涉及一種測(cè) 量方法?，F(xiàn)有殘余應(yīng)力測(cè)量方法存在耗時(shí)長、需要應(yīng)用高角度 衍射峰的缺點(diǎn)。本發(fā)明方法為，利用 XRD2設(shè)備對(duì)待測(cè)殘余應(yīng)力的樣 品測(cè)量后獲得XRD2面探圖譜， 然后對(duì)所得圖譜進(jìn)行處理，得到相應(yīng)一組(hkl)衍射峰的衍射角 (2θ)隨著德拜環(huán)張角(x)變化的數(shù)據(jù) {xl，2θ l}，最后用線性函數(shù)擬合數(shù)據(jù)得 到相應(yīng)的直線，由擬合得到直線的斜率與殘余應(yīng)力之間的關(guān) 系，即可計(jì)算出所測(cè)量樣品該微小區(qū)域的殘余應(yīng)力。本發(fā)明方 法不僅可以實(shí)現(xiàn)材料微小區(qū)域殘余應(yīng)力的測(cè)量，而且可以快速 地得到滿足精度要求的結(jié)果，另外，利用設(shè)備可調(diào)節(jié)X射線有 效穿透深度的特點(diǎn)，可獲得殘余應(yīng)力沿表面法線方向的分布， 利于推廣應(yīng)用。