本發(fā)明公開了一種無損檢測復(fù)合膜表面功能層厚度的方法,包括如下步驟:將樣品放置于樣品室;將不同能量的正電子分別入射至薄膜發(fā)生湮沒并分別搜集湮沒產(chǎn)生的伽馬射線能譜;根據(jù)伽馬能譜計算正電子湮沒參數(shù);根據(jù)正電子湮沒參數(shù)與入射正電子能量的關(guān)系,可擬合計算薄膜厚度。本發(fā)明運用正電子湮沒手段,根據(jù)不同能量的正電子在薄膜不同深度湮沒所得到的參數(shù),可定量分析復(fù)合膜表面層的厚度,此方法可不破壞樣品,屬于無損檢測。
聲明:
“無損檢測復(fù)合膜表面功能層厚度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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