本實(shí)用新型涉及一種無(wú)損檢測(cè)MEMS流量傳感器,包含設(shè)置在管道一側(cè)的紅外輻射單元、設(shè)置在管道另一側(cè)的紅外接收單元;所述紅外輻射單元包括設(shè)置在管道管壁上用于向外輻射紅外波的黑體、設(shè)置在黑體外側(cè)用于給黑體加熱的加熱電阻、設(shè)置在加熱電阻周圍且通過(guò)兩條導(dǎo)線與加熱電阻連接的電源;所述紅外接收單元為MEMS紅外熱電堆傳感器陣列,且接收端正對(duì)黑體,用于吸收黑體輻射出的紅外波,并轉(zhuǎn)化為直流電壓;本實(shí)用新型安裝在管道外部,實(shí)現(xiàn)了對(duì)管道無(wú)損傷測(cè)量其內(nèi)部的流速大小,在工作時(shí)受環(huán)境干擾小、熱污染低,具有更高的準(zhǔn)確度,且由于不直接接觸流體,無(wú)需要額外的防水、密封要求,對(duì)管道的內(nèi)部流體無(wú)影響,具有成本低、安裝方便等優(yōu)點(diǎn)。
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“無(wú)損檢測(cè)MEMS流量傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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