本發(fā)明涉及一種用探針(11)和一個(gè)估計(jì)單元來(lái)無(wú)損測(cè)量薄層厚度的方法,探針(11)在一個(gè)內(nèi)部鐵心上帶有一個(gè)第一線圈器件(24),該線圈器件的幾何中心(22)和至少一個(gè)第二線圈器件(31)的幾何中心重合,該至少第二線圈器件(31)部分地圍繞著第一線圈器件(24);對(duì)該估計(jì)單元,在用來(lái)確定薄層厚度的測(cè)量期間發(fā)射線圈器件(24、31)的信號(hào),該方法的特征在于提供一個(gè)電路(50),通過(guò)其在測(cè)量期間順序激勵(lì)第一和至少第二線圈器件(24、31)。
聲明:
“用于無(wú)損測(cè)量薄層厚度的方法和儀器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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