本發(fā)明提供一種薄膜介質(zhì)介電常數(shù)無(wú)損反射測(cè)量方法，包括：S1，搭建測(cè)試平臺(tái)；所述測(cè)試平臺(tái)包括相連接的矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和開(kāi)口波導(dǎo)，以及測(cè)試夾具；S2，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀對(duì)校準(zhǔn)介質(zhì)的開(kāi)口波導(dǎo)反射系數(shù)進(jìn)行測(cè)量得到反射系數(shù)Γc，并計(jì)算校準(zhǔn)介質(zhì)表面的反射系數(shù)Gc；S3，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀對(duì)介質(zhì)基板的開(kāi)口波導(dǎo)反射系數(shù)進(jìn)行測(cè)量得到反射系數(shù)Γs，并計(jì)算介質(zhì)基板表面的反射系數(shù)Gs；S4，矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀對(duì)覆有薄膜介質(zhì)的介質(zhì)基板的開(kāi)口波導(dǎo)反射系數(shù)進(jìn)行測(cè)量，得到反射系數(shù)Γt；S5，根據(jù)反射系數(shù)Γc、反射系數(shù)Γs、反射系數(shù)Γt、反射系數(shù)Gs、反射系數(shù)Gc，計(jì)算薄膜介質(zhì)表面的反射系數(shù)Gt，進(jìn)而計(jì)算薄膜介質(zhì)介電常數(shù)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)薄膜介質(zhì)無(wú)損非接觸測(cè)量的技術(shù)效果且整個(gè)測(cè)量過(guò)程易于實(shí)現(xiàn)。