本發(fā)明提供一種磁輥表面粗糙度的無損測量裝置,該裝置包括由激光器、透鏡、起偏器、偏振分束器、平面反射鏡、1/2波片、分束器、1/4波片、聚焦物鏡組成的光學(xué)部分、由光功率計(jì)、微機(jī)及顯示界面組成的光探測部分及由支架和轉(zhuǎn)動裝置組成的機(jī)械部分。本發(fā)明采用兩光束共光路、同心聚焦掃描可實(shí)現(xiàn)表面粗糙度的絕對測量,使用一個1/2波片改變一路光束的偏振態(tài),避免了傳統(tǒng)測量系統(tǒng)中光路具有可逆性的問題,保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性,使用一個1/4波片使接收端的光束偏振態(tài)方向一致,使干涉信號可見度最大。該系統(tǒng)光路結(jié)構(gòu)簡單,且測量精度高。
聲明:
“磁輥表面粗糙度的無損測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)