一種基于空間像自適應(yīng)降噪的投影物鏡波像差檢測方法,是基于空間像主成份分析的光刻機投影物鏡的波像差測量技術(shù)的優(yōu)化方法。本方法通過對同一視場位置的空間像進行重復(fù)采集得到相應(yīng)空間像的噪聲權(quán)重,再將噪聲的權(quán)重轉(zhuǎn)化為主成份的權(quán)重,利用權(quán)重最小二乘法擬合空間像得到具有噪聲抑制效果的主成份系數(shù),最后利用澤尼克像差回歸矩陣求解投影物鏡的波像差。本發(fā)明通過對空間像進行無損的噪聲抑制算法優(yōu)化達到降噪目的,可以使投影物鏡波像差的測量精度和重復(fù)精度都得到明顯提高。
聲明:
“基于空間像自適應(yīng)降噪的投影物鏡波像差檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)