本發(fā)明公開了一種基于阻抗譜的壓電器件結(jié)構(gòu)缺陷檢測方法,屬于電子技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明使用了差異因子來量化不同壓電器件之間阻抗譜的差異,通過對一批已知合格和已知不合格樣品的差異因子作統(tǒng)計,得到可用于缺陷檢測的標(biāo)準(zhǔn)阻抗譜以及閾值。測試新樣品的阻抗譜并計算其與標(biāo)準(zhǔn)阻抗譜之間的差異因子,通過新樣品差異因子與閾值的比較結(jié)果,可以判斷新樣品是否合格。依靠本方法,可以快速、無損的判斷壓電器件是否合格。
聲明:
“基于阻抗譜的壓電器件結(jié)構(gòu)缺陷檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)