本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)的動態(tài)特性測試方法,具體為微機電系統(tǒng)的動態(tài)應(yīng)力測試方法。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)尚無測試微機電系統(tǒng)動態(tài)應(yīng)力測試方法的問題。該方法包含激光照射動態(tài)樣品、樣品產(chǎn)生拉曼散射、輸出拉曼光譜、分析拉曼光譜的拉曼測試過程,將照射激光調(diào)制成與被測樣品動態(tài)振動頻率相同的激光脈沖。本發(fā)明首次將拉曼測試原理用于微機電系統(tǒng)動態(tài)應(yīng)力的測試,并通過對激光的高頻調(diào)制使拉曼測試用于微機電系統(tǒng)的動態(tài)應(yīng)力測試成為現(xiàn)實,從而給出了一種基于拉曼光譜的非接觸式無損測試微機電系統(tǒng)動態(tài)應(yīng)力的方法,添補了微機電系統(tǒng)動態(tài)應(yīng)力測試的空白。
聲明:
“微機電系統(tǒng)的動態(tài)應(yīng)力測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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