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用于OLED掩膜版及坩堝表面LiF材料清洗的組合物

1055   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:26:46
本發(fā)明屬于表面活性劑技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于OLED掩膜版及坩堝表面LiF材料清洗的組合物,按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)之和為100%計(jì),包括0.1?5%的特定的乙二醇基Gemini型兩性離子表面活性劑,5?20%無(wú)機(jī)強(qiáng)堿性物質(zhì),0.5?20%有機(jī)助劑,0.1?5%螯合劑,余量為高純水。本發(fā)明通過(guò)特定的乙二醇基Gemini型兩性離子表面活性劑與無(wú)機(jī)強(qiáng)堿混配,可以快速并有效去除蒸鍍工藝中掩膜版及蒸鍍?cè)O(shè)備坩堝上附著的LiF電極材料,大大提高了鋰鹽的溶解度,解決了市面上產(chǎn)品存在的沉淀問(wèn)題,且易清洗無(wú)殘留。
聲明:
“用于OLED掩膜版及坩堝表面LiF材料清洗的組合物” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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