本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有的熱絲化學(xué)氣相沉積(熱絲CVD)法金剛石膜沉積系統(tǒng)中襯底溫度測量不便或無法動(dòng)態(tài)測量的問題,發(fā)明一種能實(shí)時(shí)連續(xù)測量襯底表面溫度分布的CVD系統(tǒng)襯底的無電刷測溫方法及裝置,其關(guān)鍵是將回轉(zhuǎn)式襯底工作臺(tái)改變?yōu)閿[動(dòng)式工作臺(tái),既保證襯底表面的溫度均勻性,又使得熱電偶測溫變得十分方便,改變傳統(tǒng)的熱電偶加電刷的結(jié)構(gòu),可對(duì)襯底表面溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
聲明:
“CVD系統(tǒng)襯底的無電刷測溫方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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