本發(fā)明公開了一種液相原子力顯微鏡探頭。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)組成的光電檢測系統(tǒng)、XYZ壓電陶瓷、氣液隔離盤及微懸臂探針組成的掃描與反饋控制系統(tǒng),以及由樣品、樣品座、液體池和升降臺組成的可升降液相單元。本發(fā)明液相原子力顯微鏡探頭結(jié)構(gòu)簡潔,技術(shù)條件易于實(shí)現(xiàn),廣泛適用于導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體樣品,既可以在空氣中測量,又可以在液體甚至
電化學(xué)環(huán)境下進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察和測量,可望在眾多科技與工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
聲明:
“液相原子力顯微鏡探頭” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)