一種靶組件,其中濺射材料不是用焊接法或其它冶金方法接合于襯板(20)上的。而是以機(jī)械方式(例如用螺栓(45)將靶(30)連接于適配器(32)上,該靶(30)整個(gè)由單一的濺射材料制成,該適配器本身被永久性地固定在真空室(10)上。結(jié)果是,可以容易地從真空室上卸下和更換濺射靶,而并不需要卸下和更換襯板。
聲明:
“機(jī)械連接式濺射靶及其適配器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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