本發(fā)明涉及新能源敏感材料,具體涉及一種基于
碳納米管和鈀復(fù)合薄膜的氫氣傳感器,從內(nèi)向外依次包括P型硅基底(4)、碳納米管(3)、金屬鈀薄膜(2)和兩個(gè)金屬電極(1),其中所述碳納米管(3)的排布方式為分縱向和橫向均勻排布,所述兩金屬電極(1)均為條形且相互對(duì)稱的設(shè)置在金屬鈀薄膜(2)上表面。本發(fā)明采用的紋碳納米管可以有效的改善金屬鈀膜的吸氫性能,減少氫氣傳感器的響應(yīng)時(shí)間、提高氫氣傳感器的響應(yīng)度;同時(shí),器件的選擇性也得到保證;此外,本發(fā)明可以在室溫條件下工作;并且,器件制備工藝簡(jiǎn)單,易于大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“基于碳納米管和鈀復(fù)合薄膜的氫氣傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)