本發(fā)明公開了一種頻率可調(diào)的橫向場激勵(lì)薄膜體聲波諧振器及制備方法,由上至下依次包括電極鋁、壓電基片鉭酸鋰、溫度補(bǔ)償層二氧化硅及襯底硅;所述襯底設(shè)有空腔,空腔與貫穿于溫度補(bǔ)償層、壓電基片的釋放通孔相通,所述壓電基片為單晶材料。本發(fā)明在不改變壓電基片的厚度情況下,諧振器的中心頻率隨著電極對(duì)激勵(lì)方向的改變而發(fā)生變化。
聲明:
“頻率可調(diào)的橫向場激勵(lì)薄膜體聲波諧振器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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