一種聲表面波增強(qiáng)型深紫外探測(cè)器及其制備方法,所述聲表面波增強(qiáng)型深紫外探測(cè)器依次包括鈮酸鋰襯底、半導(dǎo)體薄膜及設(shè)置于所述半導(dǎo)體薄膜表面的兩對(duì)歐姆電極;所述兩對(duì)歐姆電極其一用于接收并傳播聲表面波并使其調(diào)制薄膜與襯底的能帶結(jié)構(gòu),以提高光生載流子的數(shù)量及傳輸效率,另一則用于收集光生載流子并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出,并接通外接參數(shù)分析儀評(píng)估探測(cè)器對(duì)于光輻射的響應(yīng)度、探測(cè)率等一系列性能指標(biāo)。本發(fā)明的聲表面波增強(qiáng)型深紫外探測(cè)器能夠通過聲表面波的外部刺激顯著增強(qiáng)探測(cè)器的響應(yīng)度等一系列性能指標(biāo)。
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“聲表面波增強(qiáng)型深紫外探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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